[11p-P6-1~24] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[11p-P6-13] 結晶シリコン太陽電池のパッシベーション用アルミナ薄膜のスピンコーティング製膜

〇野口 卓馬¹、ウズム アブドゥラ¹、神田 広之¹、伊藤 省吾¹ (1.兵県大工)

キーワード：酸化アルミニウム、スピンコーティング