[11p-P6-1~24] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[11p-P6-9] 選択的 Si 酸化を用いた c-Si/a-Si ヘテロ接合界面(1 in)における漏れ電流抑制技術の開発

〇太田 昂貴¹、三和 寛之¹、西田 哲¹、牟田 浩司¹、栗林 志頭眞¹ (1.岐大院工)

キーワード：パッシベーション