[12a-A13-1~10] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[12a-A13-5] シリコン基板光導波型加速度センサにおけるおもりサイズと位相感度の関係

〇坂部 亮¹、大河 正志²、佐藤 孝² (1.新潟大学大学院, 2.新潟大学)

キーワード：加速度センサ、MEMS