[12a-A20-1~10] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[12a-A20-3] MOVPE選択成長法によるSi(100), SOI基板上のInAsナノワイヤ成長

〇冨岡 克広^{1, 2}、石坂 文哉¹、中井 栄治¹、本久 順一¹、福井 孝志¹ (1.北大院情報科学および量子集積センター, 2.JSTさきがけ)

キーワード：III-Vナノワイヤ、選択成長