[12a-A22-1~13] 9.4 熱電変換

△ [12a-A22-9] スパッタリング法によるCa-Si膜の作製と熱電特性評価

〇上原 睦雄¹、新井 洋樹¹、小川 正太¹、秋山 賢輔^{1, 2}、松島 正明¹、内田 寛³、木村 好里¹、舟窪 浩¹ (1.東工大院, 2.神奈川県産業技術セ, 3.上智大)

キーワード：熱電特性、スパッタリング、Ca-Si