11:45 〜 12:00
▼ [12a-A23-11] Analytical Model for SiO2-IL Scavenging in HfO2/SiO2/Si Stacks
キーワード:SiO2-IL scavenging,HfO2/SiO2/Si stack,Analytical modeling
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.6 Semiconductor English Session
2015年3月12日(木) 09:00 〜 12:15 A23 (6A-216)
11:45 〜 12:00
キーワード:SiO2-IL scavenging,HfO2/SiO2/Si stack,Analytical modeling