PDF ダウンロード スケジュール 6 いいね! 0 11:45 〜 12:00 [12a-A27-7] SSRMによる不純物揺らぎ測定の検討 〇松沢 一也1、板井 翔吾1、小野 瑞城1、石原 貴光1、張 利1 (1.東芝研究開発センター) キーワード:走査型広がり抵抗顕微鏡法、不純物ゆらぎ、ショットキー