[12a-A27-1~9] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12a-A27-9] 深紫外レーザーを用いたレーザー補助３次元アトムプローブの検討

〇金野 晃之¹、大久保 忠勝²、富田 充裕¹、宝野 和博² (1.東芝研究開発センター, 2.物質・材料研究機構)

キーワード：アトムプローブ、レーザー