[12a-A28-1~12] 16.1 基礎物性・評価

[12a-A28-8] Si及びSiO₂上に製膜した非晶質Ge膜の固相結晶成長に関する検討

〇黒岩 杏太¹、磯村 雅夫¹ (1.東海大院工)

キーワード：半導体、a-Ge