11:45 〜 12:00
[12a-A29-11] 積層チャネル3D-IC向け極薄Body Poly-Ge p-&n-MISFETsを用いたCMOSインバーターとリング発振器の作製および動作実証
キーワード:ゲルマニウム、多結晶、CMOS
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年3月12日(木) 09:00 〜 12:00 A29 (6A-204)
11:45 〜 12:00
キーワード:ゲルマニウム、多結晶、CMOS