[12a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[12a-B4-4] 微傾斜4H-SiC(0001)表面ナノ構造の周期化距離のオフ角度依存性

〇福間 洸平¹、高崎 友也¹、梶原 隆司¹、アントン ビシコフスキー¹、田中 悟¹ (1.九大院工)

キーワード：炭化ケイ素、ナノファセット