[12a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[12a-B4-5] 低温成長による3C-SiC(111)自立基板の結晶性評価

〇浅村 英俊¹、大内 澄人¹、生川 満久¹、稲垣 徹¹、川村 啓介¹ (1.エア・ウォーター総研)

キーワード：3C-SiC、自立基板