[12a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[12a-B4-9] 4H-SiC中の空孔欠陥と水素の反応と、水素複合欠陥のESR評価

〇棚井 創基¹、村上 功樹¹、奥田 貴史²、須田 淳²、木本 恒暢²、小杉 亮治³、大島 武⁴、梅田 享英¹ (1.筑波大, 2.京大, 3.産総研, 4.原研)

キーワード：炭化ケイ素、水素、電子スピン共鳴分光