[12a-D1-1~12] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[12a-D1-1] 高速回転式ミストCVD法により形成したZnO薄膜

〇田之上 博信¹、和田 祥平¹、横山 裕太郎¹、谷口 卓矢¹、山本 真也¹、中村 昭平¹、中 良弘^{1, 3}、永岡 昭二^{2, 3}、中村 有水^{1, 3} (1.熊大工, 2.熊本県産技センター, 3.熊本有機センター)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD