2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[12a-D1-1~12] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年3月12日(木) 09:00 〜 12:15 D1 (16-101)

11:30 〜 11:45

[12a-D1-10] 水熱合成ZnOターゲットを用いたZnO薄膜のヘリコン波励起プラズマスパッタエピタキシー(4):遷移金属不純物に関する考察

〇(B)岩橋 咲弥1、山崎 芳樹1、小島 一信1、古澤 健太郎1、上殿 明良2、秩父 重英1 (1.東北大多元研, 2.筑波大物理工)

キーワード:酸化亜鉛、遷移金属