[12a-D7-1~11] 17.2 構造制御・プロセス

[12a-D7-6] ヘリウムイオンビームによるグラフェンへのナノ構造直描

〇内藤 裕一¹、飯島 智彦¹、小川 真一¹ (1.産総研ナノエレクロトニクス研究部門)

キーワード：グラフェン、ヘリウムイオン顕微鏡、直描