[12a-P13-1~11] 13.5 デバイス／集積化技術

[12a-P13-2] n型トンネルトランジスタにおけるPBTI劣化の解析

〇水林 亘¹、森 貴洋¹、福田 浩一¹、柳 永勛¹、松川 貴¹、石川 由紀¹、遠藤 和彦¹、大内 真一¹、塚田 順一¹、山内 洋美¹、右田 真司¹、森田 行則¹、太田 裕之¹、昌原 明植¹ (1.産総研)

キーワード：信頼性、トンネルトランジスタ