[12p-A16-1~13] 3.15 シリコンフォトニクス

[12p-A16-7] SOI上直接成長Geを用いたマイクロディスク共振器の作製と光学評価

〇加古 敏^{1, 2}、石田 悟己¹、小田 克矢³、斎藤 慎一⁴、井戸 立身³、荒川 泰彦^{1, 2} (1.東大生研・先端研, 2.東大ナノ量子機構, 3.日立中研, 4.サザンプトン大)

キーワード：ゲルマニウム、マイクロディスク共振器、フォトルミネッセンス