[12p-A17-1~19] 3.13 半導体光デバイス

[12p-A17-16] F イオン注入と熱処理によるGaAsP 歪量子井戸選択的無秩序化を用いた導波光伝搬損失低減

奥田 真也¹、〇上向井 正裕¹、栖原 敏明¹ (1.阪大院工)

キーワード：半導体、導波路、量子井戸無秩序化