[12p-A20-1~16] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[12p-A20-15] 自己組織化多孔質誘電体薄膜を用いた周期的孤立ナノ金属構造の形成

〇今里 真之¹、塚本 新¹ (1.日大理工)

キーワード：周期的孤立ナノ金属構造、Ar イオンドライエッチング