[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-22] サファイア基板上に低温成長したGaNバッファ層のTEM評価

〇松原 徹^{1, 2}、杉本 浩平¹、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院理工, 2.UBE科学分析センター)

キーワード：窒化ガリウム、貫通転位、積層欠陥