PDF ダウンロード スケジュール 17 いいね! 0 14:15 〜 14:30 △ [12p-B1-4] 窒化a面サファイア基板上へのc面AlNの有機金属気相成長 〇柴岡 真実1、船戸 充1、川上 養一1 (1.京大院工) キーワード:AlN、サファイア、MOVPE