[12p-B6-1~9] レーザーによる3次元造形技術の最先端から実用まで

[12p-B6-8] レーザー支援エッチングによる多成分ガラス基板への貫通孔形成

〇米村 正寿¹、加藤 覚¹、長谷川 和男¹、高橋 秀知² (1.豊田中研, 2.アイシン精機)

キーワード：レーザー支援エッチング、フェムト秒レーザー、ガラス