[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[12p-C1-14] N₂とアセトニトリルの混合気体マイクロ波放電フローで生成するa-CN_x:H薄膜の窒素源

〇(M1)茂木 紳令¹、津留 紘樹¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：非晶質窒化炭素膜