[12p-C1-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [12p-C1-17] グアニジン炭酸塩を用いたグラファイト状窒化炭素薄膜の合成とその基礎的評価

〇藤田 詩織¹、羽渕 仁恵¹、髙木 俊作¹、滝川 浩史² (1.岐阜高専, 2.豊橋技科大)

キーワード：グラファイト状窒化炭素薄膜、半導体薄膜