[12p-C3-1~4] リソグラフィ技術の最新動向

[12p-C3-3] ジブロックコポリマーを用いた誘導自己組織化プロセスのモデリングと最適化

〇吉元 健治¹、深渡瀬 健¹、堀 義宗¹、銭谷 優佑¹、大嶋 正裕¹ (1.京大)

キーワード：誘導自己組織化、ブロックコポリマー、リソグラフィ