[12p-D13-1~14] 6.5 表面物理・真空

[12p-D13-14] Si(113)表面における酸化メカニズムの解析

〇田中 一馬¹、大野 真也¹、小玉 開¹、吉越 章隆²、寺岡 有殿²、田中 正俊¹ (1.横国大院工, 2.原子力機構)

キーワード：表面酸化、光電子分光、シリコン