[12p-D7-1~22] 17.1 成長技術

[12p-D7-7] コンダクティブAFMによるSiC上に形成されたグラフェンの空間分布評価

〇稲本 拓朗¹、佐藤 まり子¹、藤井 健志¹ (1.富士電機)

キーワード：コンダクティブAFM、グラフェン、SiC