[12p-D8-1~19] 6.4 薄膜新材料

△ [12p-D8-15] 金属メッシュ配線への窒化Al系光吸収薄膜の応用検討

〇志田 陽子¹、越智 元隆¹、後藤 裕史¹、釘宮 敏洋¹、奥野 博行²、金丸 守賀² (1.(株)神戸製鋼所, 2.(株)コベルコ科研)

キーワード：金属メッシュ配線、合金薄膜材料、光吸収薄膜