2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[12p-D8-1~19] 6.4 薄膜新材料

2015年3月12日(木) 13:15 〜 18:30 D8 (16-303)

14:30 〜 14:45

[12p-D8-6] Influence of N2O doped buffer layer on the properties of ZnO thin films on glass substrates grown by catalytic-reaction-assisted chemical vapor deposition

Yuuki Ishidzuka1, Yuuki Ohashi1, Hironori Katagiri2, Koichiro Oishi2, Yasuhiro Tamayama1, Takahiro Kato1, 〇Kanji Yasui1 (1.Nagaoka Univ. Technol., 2.Nagaoka. Nat. Coll. Technol.)

キーワード:ZnO,catalytic-reaction