[12p-P16-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-P16-15] 焼結法による炭化タンタル被覆黒鉛材 ～バルク成長・エピ成膜用の高耐久・高信頼性保護コーティング～

〇中村 大輔¹、鈴村 彰敏¹、重藤 啓輔¹ (1.豊田中研)

キーワード：炭化タンタル、窒化アルミニウム成長、炭化ケイ素成長