PDF ダウンロード スケジュール 7 いいね! 0 16:00 〜 18:00 [12p-P16-18] スパッタ法によるGaNテンプレート上へのInN層の成長 〇(M2)福井 迪1、小橋 勇希1、多田 暁由1、神田 赳志1、水野 愛1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工) キーワード:InN、スパッタ