[13a-A23-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[13a-A23-1] パルス光伝導法による非接触テストの開発

〇(M1)清水 公志郎¹、福田 和樹²、深 純平¹、古田 正昭¹、吉岡 昌雄²、小林 一博¹、久保田 弘¹、吉永 径一³ (1.熊大院自, 2.熊大工, 3.テラプローブ)

キーワード：半導体デバイス、評価試験