PDF ダウンロード スケジュール 14 いいね! 0 12:15 〜 12:30 [13a-A24-13] TiN/HfO2/TiN構造におけるHfO2膜の強誘電的特性TiN/HfO2/TiN構造におけるHfO2膜の強誘電的特性 〇西村 知紀1、矢嶋 赳彬1、鳥海 明1 (1.東大院工) キーワード:HfO2、強誘電体