[13a-A24-1~13] 13.3 絶縁膜技術

△ [13a-A24-8] 水蒸気を用いたプラズマ誘起原子層堆積法によるAl₂O₃膜の絶縁特性改善

〇梅原 智明¹、堀田 昌宏¹、吉嗣 晃治¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：原子層堆積法、Al2O3、水蒸気プラズマ