[13a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[13a-B4-2] 4H-SiC/SiO₂界面における酸化反応過程に関する理論的検討

〇秋山 亨¹、伊藤 綾子¹、中村 浩次¹、伊藤 智徳¹、影島 博之²、植松 真司³、白石 賢二⁴ (1.三重大院工, 2.島根大院理工, 3.慶大理工, 4.名大院工)

キーワード：SiC