[13a-D8-1~11] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

△ [13a-D8-6] グラフェン上ALD-Y₂O₃堆積におけるバッファー層への高圧酸素アニールによる容量向上

〇高橋 伸尭¹、長汐 晃輔^{1, 2} (1.東大院工, 2.JST-さきがけ)

キーワード：原子層堆積