[13a-P10-1~2] 8.2 プラズマ診断・計測

[13a-P10-1] 吸収分光法によるArパルスマイクロ波プラズマのガス温度時分解測定

〇瀬高 健太¹、豊田 浩孝^{1, 2} (1.名大工, 2.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：プラズマ