[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13a-P14-5] スパッタHfO₂を利用したCLC 低温poly-Si TFTのCMOS化

〇目黒 達也¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：TFT、High-k、HfO2