[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [13a-P14-6] ガラス基板上の平面型メタルダブルゲート低温poly-Ge TFT

〇西村 勇哉¹、目黒 達也¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：ゲルマニウム、薄膜トランジスタ