[13a-P18-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス（ポスター）

[13a-P18-14] ミストCVDによって作製したコランダム型酸化インジウム(α-In₂O₃)の特性評価

〇(B)須和 祐太¹、川原村 敏幸¹、小島 一信²、秩父 重英² (1.高知工大シス工, 2.東北大多元研)

キーワード：酸化インジウム、コランダム、ミストCVD