[13a-P18-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス（ポスター）

[13a-P18-7] スパッタリング法によるAZO膜の電気特性に与える投入電力の影響

〇正力 幹也¹、井上 創太¹、菊池 大樹¹、杉浦 怜¹、舩木 修平¹、山田 容士¹ (1.島大総理工)

キーワード：酸化物透明導電膜、スパッタリング法