[13a-P18-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス（ポスター）

[13a-P18-8] 高密度Zn-O₂混合プラズマ中におけるZnO導電膜の透明度遷移領域の観察

〇野中 翔太¹、竹田 直樹¹、佐藤 直幸¹、池畑 隆¹ (1.茨城大院理工)

キーワード：透明導電膜、低シート抵抗、酸素プラズマ