[13a-P6-1~9] 3.8 光計測技術・機器

[13a-P6-3] 無限遠補正光学系を用いた共通光路位相シフト干渉顕微鏡

〇佐藤 貴則¹、冨川 望¹、陳 軍¹ (1.東京工芸大工)

キーワード：位相シフト干渉顕微鏡、ウォラストンプリズム