[13a-P7-1~9] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[13a-P7-6] 全光論理ゲート素子に向けた多重積層量子ドットのイオン注入と熱処理による組成拡散の検討

〇武井 勇樹¹、尾﨑 太斎¹、松本 敦²、赤羽 浩一²、松島 裕一¹、石川 浩¹、宇髙 勝之¹ (1.早大理工, 2.情報通信研究機構)

キーワード：組成拡散、量子ドット、イオン注入