[13a-P8-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス

[13a-P8-6] Si細線導波路干渉器素子における多領域構造による特性設定の検討

〇岡山 秀彰¹、八重樫 浩樹¹、佐々木 浩紀¹ (1.沖電気)

キーワード：干渉器、シリコン、光導波路