[13p-A21-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

△ [13p-A21-6] 圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長

〇西澤 信典¹、吉田 慎哉¹、和佐 清孝²、田中 秀治¹ (1.東北大学, 2.横浜市立大学)

キーワード：イットリア安定化ジルコニア、エピタキシャル成長、MEMS