[13p-A23-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[13p-A23-1] 大面積MoS₂膜形成に向けたMoの硫化プロセスの検討

〇(B)松浦 賢太朗¹、大橋 匠¹、山口 晋平¹、須田 耕平²、石原 聖也²、澤本 直美²、角嶋 邦之¹、杉井 信之¹、西山 彰¹、片岡 好則¹、名取 研二¹、筒井 一生¹、岩井 洋¹、小椋 厚志²、若林 整¹ (1.東工大, 2.明治大)

キーワード：二硫化モリブデン (MoS2)、硫化プロセス、大面積