[13p-B4-1~9] 15.6 IV族系化合物

△ [13p-B4-2] 低温酸素アニールによるSiO₂/4H-SiC(0001)界面準位密度の増減機構の理解と制御

〇菊地 平八郎¹、喜多 浩之² (1.東大院工, 2.JST　さきがけ)

キーワード：SiC、SiO2、MOS