[13p-D1-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-D1-1] α-Ga₂O₃ バルク単結晶の作製と構造評価

〇金子 健太郎^{1, 2}、織田 真也^{1, 2}、藤田 静雄¹、人羅 俊実² (1.京大院工, 2.株式会社FLOSFIA)

キーワード：酸化ガリウム、バルク、パワーデバイス